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掩膜版定义及分类对比

掩模版，其常用名称包括光掩模版、光罩以及其他衍生称呼，实为微电子制造业流程中的图形转移之模板，承担着包括图形设计与工艺技术在内的知识产权信息的承载重任，及平板显示器、半导体器件、触摸屏设备、电路板等多个行业内的生产制造过程中所必需的重要关键原材料。潜在的功能在于，采用所设计的电路图形通过曝光手段，将其复制传输至下游产业的基板或者硅片上，从而达成批量生产的目的。针对其不同的分类标准，掩模版可划分为多种不同的类别。就实际的应用领域而言，掩模版可以被细化为半导体芯片类、平板显示器类、电路板类以及触摸类等几大类别。

图表：不同类型掩膜版技术指标对比

资料来源：智研瞻产业研究院整理

掩膜版行业政策

作为我国重要的战略性基础产业之一，掩膜版产业的蓬勃发展已成为提升国家科技水平的关键性指示器。在过去数年内，我国政府部门采取了积极有力的措施，出台了诸多引导与扶持掩膜版产业发展的政策指导文件，以期推动该领域国产化进程，从而有效抵御外企的市场竞争压力，提高我国企业在全球范围内的科技创新实力。

图表：掩膜版行业政策

资料来源：智研瞻产业研究院整理

掩膜版行业市场规模

统计数据显示，2018年中国掩膜版行业市场规模80.25亿元，2023年中国掩膜版行业市场规模144.63亿元。2018-2023年中国掩膜版行业市场规模如下：

图表：2018-2023年中国掩膜版行业市场规模

数据来源：智研瞻产业研究院整理

掩膜版行业产业链

在微电子制造业的流程中，掩膜版作为图形转换工具或者原始模板起着非常关键的角色，它是这些技术资料和知识产权的重要物理实体。如今，根据产品、使用范围以及构成材质的差异，我们可以将掩膜版划分为若干类别。在这个产业的上端，涵盖了掩膜版的核心原材料及其生产设备，例如掩膜版所采用的玻璃基板以及防光照层等；在中间环节，依据产品特性的区别，掩膜版又被细分为四类：铬版、干版、液态凸版与凸版；再者，按照用途类别划分，可以区分为用于集成电路（IC）、平板显示器（FPD）、印刷电路板（PCB）和微机电系统（MEMS）的掩膜版等等；最后，根据构成材质的差别，我们还能区分出基板为树脂或玻璃的掩膜版，以及结合乳胶或是硬质光线隔层的各类掩膜版等。最终，这一切都将引向半导体及其相关产业市场，它们具体涉及到了集成电路的制造与组装测试，以及各类半导体器件等。

图表：掩膜版行业产业链

资料来源：智研瞻产业研究院整理

掩膜版行业技术发展

前端技术的创新升级势必对掩膜版技术要求提出更为严格的标准。

掩膜版产业在尺寸与精度方面不断突破现有水平。随着大屏幕时代的来临，平板显示器已经迈入G11世代，该阶层提供的高分辨率支持终端面板尺寸的扩大与切割工艺效率的提升，从而能有效降低制造过程中的投入成本并提升产品的使用效率。眼下，半导体产品制造工艺已跨进境内主流的28nm，以及境外主流的7-14nm阶段，这使得掩膜版被赋予了更为苛刻的精度需求，同时也促使掩膜版制造商不断提升其设计开发能力。

面板世代的跃升及壮大推动了掩膜版技术的取得长足发展。

平板式显示掩模版在液晶显示器制造过程中的陈列（Array）工艺环节得到了广泛的应用。在液晶显示器制造的阵列工艺环节，制造商需利用薄 膜沉积与光刻工艺将金属薄膜/半导体薄膜/半导体在基板上形成所需形状，在此过程中，掩膜版发挥着至关重要的模具作用，每一道工序均需配备一套独特的掩膜版。

平板显示屏行业展现出尺寸变得巨大、产品高度定制化等特点。平板显示面板可用于电视电器、车载显示器、公共显示屏及手机等终端应用领域。

先进的数字矩阵板使用率和产出率更为卓越，目前在国际上最新的技术已经达到了第11代线。随着大尺寸屏幕的需求日益增长，全球面板生产线正在逐步向第8+代线（G8+）以及第10+代线（G10+）发展。其中，第8.5代线可以高效地切割32/48/55英寸电视屏幕；第8.6代线能够精巧地切割50/58英寸电视屏幕；而第10.5代线则可以高效地切割65/75英寸电视屏幕。在海外，平板显示遮罩板的主要制造商包括福尼克斯、SDP、SKE、LG-IT等公司，均拥有11代遮罩版生产线。而在中国本土，制造商们所采用的主流技术发展方向是第8.5/8.6代线，其中，励志光学在技术领域做出了突破，成为了唯一掌握G11高世代线遮罩版技术的企业。

鉴于高分辨率面板的市场渗透率持续提升，这无疑提高了对掩膜板精确度的严苛要求。

面板材质的不断转变正推动着掩膜板需求呈现出结构性的转变趋势。近年来，智能手机屏幕材质已产生了结构性的变化，据中国通信院的数据显示，在2021年，采用LTPS-AMOLED材料制成的屏幕在智能手机屏幕中所占比例已超过30%。相较于传统的TFT面板掩膜版，AMOLED面板所需要的掩膜板精度要求要更为严格。截至2022年第二季度，国内上市的手机中有超过58%的手机屏幕分辨率已经超过了FHD1080p，高清晰度显示屏的广泛采用明显加剧了对G6及其以下层次小巧尺寸，高精确度掩模版产品的需求。

随着下游面板制造商逐步提升LCD/OLED等高精度面板的生产能力，与之相应的掩模版需求预期将呈现加速上升的趋势。与传统的低分辨率TFT面板对比，AMOLED/LTPS/高分辨率TFT面板拥有更高的像素密度，对掩模版的精度标准提出了更为严苛的挑战。根据数据，2023年全国40条中/高精度面板生产线中，G6以及以下世代的生产线占据了22条。尽管近期以智能手机为代表的消费类电子产品出货量增速有所减缓，据IDC的统计数据表明，2021年全球智能手机出货量同比增长了4.5%，达到了1352万台，，然而鉴于国内智能手机产量在全球中的比例超过了60%，国内显示器制造商仍具备推动新掩模版需求的动力，以便满足下游终端市场新机型订单的需求。

先进制程半导体掩模版在技术层面上存在更高的挑战性

半导体掩模版被誉为光刻过程中的“设计蓝图”，其技术含量与复杂程度显然相对平板显示掩膜版大幅提升。作为模板电路在芯片制造的光刻环节中扮演关键角色，激光经过掩模版后在晶圆表面的光刻胶上实现曝光。半导体掩模版的技术需求极其严格，以英特尔14nm制程项目为例，其制造流程中需使用超过50个面积达15.24×15.24厘米的掩模版，每个掩模版所搭载的信息量大于6PB。制造掩模版需使用超高精度的电子束光刻机，且每个掩模版的生产周期长达5日。

掩膜版行业发展趋势

高精度掩模版乃是掩模版产业中的一个关键发展趋势。鉴于显示面板及半导体等领域对产品精密度与分辨率的需求逐步攀升，高精度掩模版的需求亦持续扩大。就相关数据而言，高精度掩模版的销售额在近数年来保持每年逾10%的增长率。在此同时，柔性掩模版已逐步发展成为市场上的主导产品之一。得益于可穿戴设备以及弯曲屏幕等新型产品的涌现，柔性掩模版的需求亦在持续增长。据估计，柔性掩模版的销售额将在未来数年内维持每年逾20%的增长率。

新兴应用领域的蓬勃发展亦是推动掩膜版产业发展的关键要素之一。

OLED显示器作为当今最盛行的显示技术之一，具备自发光、高对比度以及柔性的独特优势，因此，在智能手机、电视等诸多领域得到了广泛深度的应用。数据显示，OLED显示器面板的出货量在过去数年中，年增长率超过20%，预计未来几年仍将保持这一迅猛势头。此外，新兴应用领域之一柔性电子。伴随着可穿戴设备、智能家居等新兴产品的日益普及，柔性电子的市场需求不断壮大。据预测，柔性电子市场规模将在未来数年内，保持年增长率超过15%的强劲增长。