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行业定义

半导体搬运设备是指通过机器对晶圆进行自动搬运，将晶圆从流程A中的晶圆盒或容器移动到流程b中的晶圆盒或容器，在此流程中，晶圆存储盒或容器中的晶圆被高速、干净地运输和处理。狭义的半导体晶圆搬运设备仅指单台半导体自动搬运机，广义的半导体搬运设备应该是半导体自动物料搬运系统。

行业主要布局主体分为四大类型

目前，我国半导体晶圆搬运设备与国际大型企业仍有一定差距。许多海外领先企业在中国都有半导体晶圆处理设备的相关布局。产业的主要布局主体分为国内外企业、专业投资机构和国家政策投资基金，其中国内外企业是工业产品的主要供应商。

图表：中国半导体晶圆搬运设备行业市场主体类型

资料来源：智研瞻产业研究院整理

国内企业供给能力相对较弱

目前，在中国的半导体晶圆搬运设备供应商中，日本的戴夫和村田机械市场占有率较高，而国内企业的供应能力相对不足。据前瞻不完全统计，目前米飞科技是国内唯一一家专业从事半导体晶圆搬运设备制造的本土企业，国内供应能力较小。具体供货企业如下:

图表：中国半导体晶圆搬运设备行业供应企业供应能力评价

资料来源：智研瞻产业研究院整理

上海市是半导体搬运设备最大需求地

目前8寸和12寸晶圆是主流配置，8寸晶圆主要用于成熟工艺和特殊工艺。国内12寸晶圆厂的产品主要包括两个方向。一方面是以先进工艺代工和特色工艺为主的晶圆厂，包括SMIC、华虹、心悦等。另一个方向有以内存晶圆制造为主的晶圆厂，包括长江存储、合肥长信、福建金华、武汉新芯等。中国半导体晶圆厂的分布基本可以分为四个板块，分别是长三角、珠三角、环渤海和华中。

我国半导体晶圆搬运设备的下游需求主要是半导体晶圆厂，上海的半导体晶圆厂数量最多，对半导体晶圆搬运设备的需求最大。

行业市场规模

统计数据显示，2017年中国半导体晶圆搬运设备行业市场规模为68.91亿元，2021年中国半导体晶圆搬运设备行业市场规模为138.37亿元。2017-2022年中国半导体晶圆搬运设备行业市场规模如下:

图表：2017-2022年中国半导体晶圆搬运设备行业市场规模

数据来源：智研瞻产业研究院整理

半导体晶圆搬运设备行业“定位”——占比小，但必不可少

根据功能的不同，半导体晶圆厂可以分为两种类型。一个是晶圆代工厂，其生产策略是客户下订单，然后根据交货日期铸造晶圆。另一种是DRAM、SRAM厂等单一产品，生产策略是大量芯片、大量输出。不管是什么样的晶圆厂，其晶圆生产流程基本上和生产区的零件是一样的。

由于本文中的半导体晶圆搬运设备主要用于半导体晶圆制造厂，本节详细描述了半导体芯片的前期工艺流程。这些过程反复加工，直到最终产品完成。通过电气测试后，再发货给下游客户。在重复的过程中，各个环节之间高效、干净的晶圆输送对成品质量影响很大。

一般来说，半导体晶圆厂的设计结构是长方形的，中间有一个走廊，AMHS和晶圆存储设备主要布置在中间的走廊里，方便各个区域的使用。走廊两边依次是半导体相关的制造车间。

在半导体晶圆厂的生产中，光刻和刻蚀占据了半导体晶圆厂很大的面积，通常分别占23%和20%。虽然AMHS系统的布局只占5%，但对于每一个fab的生产建设来说，都是必不可少的重要领域。

基于以上分析，不难看出半导体晶圆搬运行业在半导体晶圆厂建设中的重要性。一直以来，光刻机、蚀刻机等相关设备在半导体生产过程中受到广泛关注。然而，作为保证晶圆厂高效稳定运行的半导体晶圆搬运设备，市场关注度相对有限，因此半导体晶圆搬运设备行业是半导体晶圆厂建设领域中不可或缺的“小透明”。

行业进出口发展趋势

目前，半导体搬运设备已基本进入智能化和自动化发展阶段。随着下游半导体晶圆厂生产要求的进一步提高，未来AMHS系统制造的技术壁垒将进一步提高。但与其他半导体设备相比，国产半导体晶圆搬运设备市场关注度相对有限，资金投入相对较少，行业整体规模不如其他主要半导体生产设备大。因此，国内企业参与相关业务有限，从而影响国内供应商的供应能力。基于此，中国半导体晶圆搬运设备行业的进出口发展可能有以下发展趋势:

图表：半导体晶圆搬运设备进出口发展趋势

资料来源：智研瞻产业研究院整理

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