相关报告：《中国半导体专用温控设备行业市场调查研究及投资前景展望报告》

半导体专用温控设备定义及分类

半导体专属温控装置（简称“Chiller”）在电子元件制造流程中扮演着至关重要的角色，主要功能在于精确掌控反应室内的温度环境。Chiller采用了制冷循环以及工艺冷却水的热量交换技术，通过控制半导体工艺设备中循环液体的温度、流量以及压力等参数，达到对半导体制造工序内温度控制的严格要求，它可视为集成电路生产过程中的核心设备之一。具体操作来看，根据特定工艺制程所需条件，控制温度适宜的循环液流经半导体工艺设备反应腔内的各电极或者它们的侧壁，以此将热量带入半导体专属温控装置内部。然后通过该设备上的热交换器将这些热量迅速传递给冷冻剂，最后借助冷冻剂将热量传输至工艺冷却水，完成对工艺制程中温度的精确控制。半导体专属温控装置广泛适用于化学机械抛光、扩散、离子注入、薄膜沉积、刻蚀等各个环节。

图表：半导体专用温控设备分类

资料来源：智研瞻产业研究院整理

半导体专用温控设备行业政策

半导体科技的不断创新与广泛应用，不仅对科学领域的进步以及社会生产力的提升产生了深远影响，也逐步奠定其在诸多产业中的关键地位，因此成为了各国政府重点扶持的战略新兴产业。近些年，我国多个职能部门纷纷发布了一系列旨在激励和促进半导体行业繁荣发展的优惠政策，通过全方位的财政、税务、科技和人力资源等方面的大力投入，为半导体及相关设备制造业的繁荣发展注入了强大驱动力。

图表：半导体专用温控设备行业政策

资料来源：智研瞻产业研究院整理

半导体专用温控设备行业发展现状

科技的飞速进步使得我们的历史长河中赫然出现了从最早的电子管计算机时代，跨步发展至今日的14纳米、7纳米乃至3纳米、2纳米器件时期的奇迹。在这个历尽蜕变之后，微观器件的基本单位面积竟然缩小超过一万亿倍之多。而要实现在这仅有微小尺度的芯片上（集成电路）实施最后的生产制造工序，在这个过程之中，就必须经历成百上千道的精细工艺程序。正是这种要求极度精密细微的微观加工技艺，才成就了半导体制造领域最具挑战性与难度的部分。

这无疑是一项既高度复杂又具备技术密集特性的使命，人们常将其比作在纳米维度的世界里建造摩天大楼般的工程壮举。为了能在微观领域精确完成所有的精益求精，半导体装备起着不可或缺的关键作用。尤其是那些近年来取得显著进步的制程工艺，与之对应的设备投入比例也呈现出水涨船高的趋势。在新的晶圆厂建设项目中，半导体设备的购买费用占到总预算的70%至80%左右。所以不难看出，半导体设备市场不仅具有广泛的发展空间，而且还可以预计它会在未来较长时间内保持高速增长势头。

需在此强调指出的是，哪怕是微不足道的温度波动或者生产环境中所释放出的废气也会对结果产品的性能产生深远且不可逆转的影响，因此，应用于半导体领域的专用温控设备和专门设计用于处理工艺废气的设备就显得尤为重要了。根据可靠的市场统计数据揭示，从2018年开始，我国自主研发的半导体专用温控设备市场需求就呈现出快速稳定的增长态势，市场规模从7.85亿元增长到了2022年的11.70亿元；至于我国本土的半导体专用工艺废气处理设备市场，仍处于高速成长的快车道上，短短几年间，市场规模已经接近翻番，增长率高达近100%。

虽然众多国内企业纷纷涉足这一细分领域，然而在产品稳定性与一致性方面，仍旧无法媲美国外行业巨头。在此情况下，京仪装备凭借卓越表现突出重围，成为了国内唯一一家成功实现大规模半导体专用温控设备安装部署的设备制造商；此外，这家公司也是目前国内为数不多的能够实施大规模半导体专用工艺废气处理设备安装部署的设备制造商之一。据最新数据显示，在半导体专用温控设备国内市场以及半导体专用工艺废气处理设备国内市场中，京仪装备的市场占有率（即业内俗称的CR6和CR8）均已超过90%；也就是说，在上述两类市场中，公司均稳坐占据市场份额前六和前八名位置的唯一本土企业，成功打破了国外竞争对手长期以来的市场主导地位。

业界翘楚之位，源于尖端科技支撑的优越品质。本公司研发的半导体专用温度控制装置采用先进的制冷控制、精确控温和节能工艺，能轻松应对高低温瞬间变化以及大功率制冷需求，进一步提高了温控精准度和效率。其温控覆盖范围达-70℃至120℃，无论空闲还是运转均可实现误差不超过±0.05℃与±0.5℃的精良表现，让各种半导体生产设备皆能获得贴心服务。此外，我们的工艺废气处理设备同样独具匠心，运用能量源控制、热流控制、工艺除尘等核心技术，打造出各式各样的处理方案，满足多样化的工艺废气需求。

中国半导体产业日益优化，产业链日臻完善，达成协同进步之势。北京京仪装备公司已然成为国产半导体产业链中举足轻重的一员，为推动中国半导体业在国际舞台上的崭新进程注添活力。

半导体专用温控设备行业市场规模

统计数据显示，2018年中国半导体专用温控设备行业市场规模7.85亿元，2023年中国半导体专用温控设备行业市场规模12.94亿元。2018-2023年中国半导体专用温控设备行业市场规模如下：

图表：2018-2023年中国半导体专用温控设备行业市场规模

数据来源：智研瞻产业研究院整理

半导体专用温控设备行业产业链

半导体专用温度控制设备行业乃是半导体制造机械设备行当里面所占据着举足轻重地位的分支部门，其产业价值链包括了从源头的原材料及零部件供应，至中端的半导体专用温度控制设备的生产制作以及最终的终端应用市场。在这一产业价值链的上游位置，具有决定性作用的原材料和零部件以各种金属以及非金属材料为核心；此外，还包含了诸如电子元器件、电动机与传感器这一类对设备性能产生显著影响的关键组件。而在终端应用市场方面，其涵盖的领域广泛，其中包括但不限于集成电路设计制造、微型电子设备研发以及光电技术应用等多个领域。

图表：半导体专用温控设备行业产业链

资料来源：智研瞻产业研究院整理

半导体专用温控设备行业应用分布

在晶圆制造环节，涉及到多个工序，每个工序都需要配备各种不同类型的设备，如刻蚀设备、薄膜沉积设备、光刻机、检测设备以及涂胶显影设备、化学机械抛光设备、热处理设备、离子注入设备、去胶设备等等。这些设备还包括工艺废气处理设备、温控设备、EFEM以及传片设备等一系列附属设备和设施。据公司招股说明书询问回复函所述，在2021年全球晶圆制造设备投入资金中，工艺废气处理设备的比重约为1%，温控设备则占据了大约0.62%，而EFEM及传片设备也占用了约0.67%的份额；公司主营的这三类主要产品在总的晶圆制造设备投资金额中的占比合起来接近或超过2.29%。

在半导体生产工艺流程中，专用于此领域的设备所起的关键作用在于，借助于热能转换的基本原理，对应用在工艺设备上的循序流动液态的温度、流动性以及压强等要素进行高度精确且精密的调控，从而有效地满足半导体生产过程中的控温和调温需求。从晶圆制造到刻蚀、扩散、膜层沉积等各个环节，都对工艺流程中的温度有着十分明确的规定和要求。这些要求并不是在某一个固定的温度数值处保持恒定，而是处于一种动态变化的状态之中，故需依赖特定的半导体工艺用温控设备来实现对温度水平的精准调节，进而更好地应对工艺流程中随时出现的变化需求。这种专门针对半导体产业设计的温控设备与常规的工艺设备相配合，无论是在热量传递还是数据传输等方面，都展示了其高效性和专业性。

在精密的半导体制造技术领域里，专门设计用于控制温度变化的半导体专用温控设备主要服务于刻蚀过程中的精准操控，以及薄膜沉积环节的精细调整。据可靠的数据统计揭示出了这样一个趋势：在所有半导体专用温控设备的运用场景中，其前三大用途涵盖的核心工艺环节包括：刻蚀、薄膜沉积以及涂胶显影， 分别占比61.25％、17.98％、9.99％，三个环节合计占比约 90％。

图表：半导体专用温控设备应用分布

资料来源：智研瞻产业研究院整理

半导体专用温控设备行业发展趋势

在未来的岁月里，为半导体制造提供专属温度调控的设备制造业必将持续稳健地迈向更为广阔的舞台，伴随而来的是相应市场规模的日益壮大。随着半导体制造工艺日臻完善以及应用层面的逐步扩展，这一领域的科技研发与产品晋级进程将得到更加有效的推进，从而提升设备操作精准度、稳定性及可靠性，并且同时更加强调对于节能环保与成本下修的关注程度。另外，诸如中国这样的新崛起市场的高速成长，无疑也将给半导体专门温控设备产业带来更为宽广的前景与难得的机遇。