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半导体检测和量测设备概念

是指检测在晶圆表面或电路结构中，是否存在对芯片工艺性能产生不利影响的异质情况，如颗粒污染、表面划伤、开路和短路等特征性结构缺陷；测量是指对被观察的晶圆电路的结构尺寸和材料特性的定量描述，如薄膜厚度、临界尺寸、刻蚀深度、表面形貌等物理参数的测量。

从技术原理上讲，检测和测量包括光学检测技术、电子束检测技术和X射线测量技术。目前，在所有的半导体检测设备中，采用光学检测技术的设备占大多数。光学检测技术是基于光学原理，通过对光信号的计算和分析得出检测结果。在生产过程中，需要光学检测技术来检测晶片表面的杂质颗粒和图案缺陷，以及测量晶片薄膜的厚度、临界尺寸、套印精度和表面形貌。

图表:检测和量测技术分类状况

资料来源：智研瞻产业研究院整理

行业市场规模分析

随着我国能源消费增量逐渐向居民生活、商业建筑和战略性新兴产业转变，分布式供能系统的效率优势和灵活性逐渐显现。随着能源市场竞争的日益激烈，以需求侧响应为目标的能源供给侧改革将实施，半导体测试测量设备行业将成为能源供应商市场竞争的焦点。

工业能耗占全社会总能耗的67%，我国许多行业的用电量比发达国家高10%左右。我国照明用电量约占全社会用电量的12%，节能空间约为40%至50%。对应的国内市场发展空间约3500亿，目前还处于起步阶段。

经过近20年的探索，半导体测试设备已经在各个层面上趋于成熟。政策层面，物联网相关国家标准、《信息通信业发展规划物联网分册(2016 ~ 2020年)》、《国务院关于深化互联网+先进制造业发展工业互联网的指导意见》等相继出台。

在半导体测试测量设备行业的产业层面，物联网已经从专注于自身技术探索的发展阶段，走向了与产业相结合的阶段。在企业层面，新兴物联网企业不断涌现，产业巨头向物联网领域进军，共同推动物联网商业化和产业化。就能源领域而言，物联网已经有一定的应用场景，比如智能电表、节能照明、配电监控等等。

统计数据显示，2017年中国半导体测试测量设备行业市场规模为54.64亿元，2021年中国半导体测试测量设备行业市场规模为201.55亿元。2017-2022年中国半导体测试测量设备行业市场规模如下:

图表:中国半导体测试设备行业市场规模

数据来源：智研瞻产业研究院整理

行业发展前景

1.技术趋势

随着集成电路器件物理尺寸的减小和三维结构的逐渐发展，待检测的缺陷规模和待测量的物理尺寸也在不断减小，而三维空间的检测行业不断渗透。

为了满足检测测量技术向高速、高灵敏度、高精度、高重复性和高性价比的发展趋势和要求，业界进行了许多技术改进，如提高照明光强、将光谱范围扩展到DUV波段、增加光学系统的数值孔径、增加照明和采集的光学模式、拓展光学算法和光学模拟在检测测量领域的应用等。未来，随着集成电路制造技术的不断提高，相应的检测测量技术水平也将不断提高。

2.本地化趋势

整个半导体设备领域存在技术、资金、产业协同等高壁垒。与国外企业相比，本土企业进入这一领域较晚，整体实力和规模与国外竞争对手存在较大差距。但经过多年的不懈努力，本土企业的技术水平得到了快速提升，检测测量设备从无到有。中科飞测等国内企业带动量检设备国产化不断突破，目前已在28nm实现突破，并推广到2nm以下节点。

图表：中国半导体检测和量测设备行业发展前景

资料来源：智研瞻产业研究院整理

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半导体检测和量测设备行业市场前景如何？智研瞻产业研究院发布的《2023-2029年中国半导体检测及量测设备行业全产业链结构分》详细分析了半导体检测和量测设备行业相关定义 、全球半导体检测和量测设备行业市场发展现状、中国半导体检测和量测设备产业发展环境、中国半导体检测和量测设备行业运行情况、中国半导体检测和量测设备所属行业运行数据监测、中国半导体检测和量测设备市场格局、中国半导体检测和量测设备行业需求特点与动态、中国半导体检测和量测设备行业区域市场现状、中国半导体检测和量测设备行业竞争情况、中国半导体检测和量测设备行业发展前景分析与预测、中国半导体检测和量测设备行业发展策略及投资建议等，帮助企业和投资者了解半导体检测和量测设备行业市场投资价值。您若想对半导体检测和量测设备行业有个系统的了解或者想投资半导体检测和量测设备行业，本报告是您不可或缺的重要工具。